TGV-激光高速誘導玻璃鉆孔系統(tǒng)

設(shè)備應用于各類玻璃晶圓及玻璃中介板的激光誘導鉆孔

設(shè)備特點：

? 行業(yè)專用定制型 超快皮秒/飛秒激光器

? 模塊化光路密封設(shè)計，高穩(wěn)定性光路傳輸結(jié)構(gòu)

? 精細長焦深沉絲切割頭，CCD視覺影像定位

? 高精度高速度飛機鉆孔直線電機運動平臺

? 業(yè)內(nèi)頂級高精度高速度運動控制系統(tǒng)

? 大理石+專業(yè)平臺減震模塊

? 兼容激光高速飛行鉆孔和玻璃異形切割功能

? 優(yōu)異的失量圖形讀取與處理能力，瞬間處理超大圖形

? 集成4種以上激光飛行鉆孔及切割路徑優(yōu)化算法

? 可選配上下料方式、Z軸高度跟隨、AOI檢測及可對接MES系統(tǒng)